ለሲኤምፒ 99.7% የአሉሚና ሴራሚክ ዋፈር ፖሊሽ ሳህን

ቼምስቹንየአሉሚና ዋፈር የማጥራት ሳህን/የተራ ጠረጴዛው ከከፍተኛ ንፅህና 99.7-99.9% አሉሚና የተሰራ ነው። ከፍተኛ ንፅህና ያለው የአልሙኒየም ሴራሚክ ለዋፈር ፖሊሽነት እጅግ በጣም ጥሩ ጥንካሬ እና እጅግ በጣም ጥሩ የመልበስ መቋቋም ችሎታ ያለው ሲሆን ለረጅም ጊዜ ጥሩ የገጽታ ቅርፅን ይጠብቃል። በPIBM የተቀረፀ ነው። ተወዳዳሪ የሌለው የሙቀት እና የመጠን መረጋጋት እና ለከባድ የማይክሮቺፕ ማቀነባበሪያ መሳሪያዎች አካባቢዎች መቋቋም ስላለው የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ አባል ነው።

ኬሚካል-ሜካኒካል ፕላናሪዜሽን (CMP)፣ እንዲሁም ኬሚካል-ሜካኒካል ፖሊሺንግ በመባልም የሚታወቀው፣ በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የማምረት ሂደት ውስጥ የሚገኝ ቴክኖሎጂ ነው። በማቀነባበር ወቅት የሲሊኮን ዋፈር ወይም ሌሎች የንጣፍ ቁሳቁሶችን ለማላላት የኬሚካል ዝገት እና ሜካኒካል ኃይሎችን ይጠቀማል።

የሲኤምፒ መሳሪያዎች በዋናነት በሁለት ክፍሎች የተከፈለ ነው፡ የማጥራት ክፍል እና የጽዳት ክፍል። የማጥራት ክፍሉ 4 ክፍሎችን ያቀፈ ሲሆን እነሱም 3 የማጥራት ተርንቴብሎች እና የዋፈር ጭነት እና የማውረድ ሞጁል ናቸው። የጽዳት ክፍሉ የዋፈርን "በውስጡ እንዲደርቅ እና እንዲደርቅ" ለማድረግ የዋፈርን ጽዳት እና ማድረቅ ኃላፊነት አለበት። በጠቅላላው የማጥራት መሳሪያዎች ውስጥ የአልሙኒየም ሴራሚክስ ትልቅ ሚና ይጫወታል።

የአሉሚና ሴራሚክስ ብዙውን ጊዜ ከፍተኛ ንፅህና፣ ከፍተኛ የኬሚካል ዘላቂነት እና የገጽታ ቅርፅ እና ሸካራነት ጥሩ ቁጥጥር የሚያስፈልጋቸው የዋፈር ፖሊሽ ዲስኮችን ለማዘጋጀት ያገለግላሉ።

የቼምስቹን 99.7% Al2O3 የሴራሚክ መፍጫ ዲስክ ከተራቀቁ የሴራሚክ ቁሳቁሶች የተሰራ ሲሆን ይህም በተለይ እንደ ዋፈር፣ ሴራሚክስ እና ብርጭቆ ያሉ የተሰበሩ ቁሳቁሶችን ለመፍጨት ተስማሚ ነው። የሴራሚክ መፍጫ ዲሳችን በተለያዩ የመፍጨት እና የማጥራት ሞዴሎች መሰረት በተለያዩ መጠኖች ሊሠራ ይችላል።